透過電子顕微鏡（TEM）と周辺機器
JEM 3200FSK
（励起エネルギー選択カソードルミネセンス顕微鏡）
- 高分解能透過電子顕微鏡観察
- 電子エネルギー損失分光
- カソードルミネセンス分光
- ハンベリーブラウン―ツイス カソードルミネセンス
- 非弾性散乱電子―光子相関
- フォトンマッピング
- 格子状電子線照射
FEI(ThermoFisher) Titan cubed G2
- 高速走査透過電子顕微鏡観察
- 電子エネルギー損失分光
- 電子線トモグラフィー
総合理工学研究院共用設備
JEOL ARM 200F
- 高分解能走査透過電子顕微鏡観察
- エネルギー分散X線分光
- 格子歪みマッピング(ナノビーム電子回折)
- プリセッション電子回折
総合理工学研究院共用設備
TEM用周辺機器
各種試料ホルダー
- 高角度三軸ホルダー
- 高傾角冷却ホルダー(液体窒素用)
- 二軸傾斜冷却ホルダー(液体窒素用)
以上、総合理工学研究院共用設備
- 高傾角カートリッジ型応力印加ホルダー
- 二軸傾斜MEMSチップ型加熱ホルダー
以上、総合理工学研究院波多研究室 設備
※各種特殊試料ホルダーの多くはMel-Build Co.(福岡)との共同開発
嫌気性・反応性試料用グローブボックス
嫌気性・反応性試料を不活性ガスの中で取り扱うためのグローブボックス。封入機構を搭載した専用のホルダーで試料が電子顕微鏡内まで移送されるため大気に暴露されません。
光学顕微鏡
光学顕微鏡
- フォトルミネセンス測定
- ナノ秒パルスレーザーでの時間分解測定(準備中)
集束イオンビーム―走査電子顕微鏡（FIB-SEM）
FEI(ThermoFisher) Scios
- Gaイオンビーム
- マイクロスケール試料作製
- 電子後方散乱回折
- 冷却ステージ
総合理工学研究院共用設備
FEI(ThermoFisher) Helios 5 Hydra
- プラズマイオンビーム源(Xe, Ar, O, N)
- サブミリスケール試料作製
- エネルギー分散X線分光
- 電子後方散乱回折
- 飛行時間型二次イオン質量分析
- グローブボックスからの真空移送機構
総合理工学研究院共用設備
試料作製機器
Gatan PIPS II 高精度イオン研磨システム
総合理工学研究院共用設備
スピンコーター
遠心分離器
RF-スパッタ堆積装置
電気炉
乾燥器
熱蒸着装置
ソフトウェア
例）Dragonflyにより構築された深層学習ノイズフィルター
ソフトウェア
- 三次元再構成(TEMography, Inspect 3D)
- 有限差分時間領域法(CrystalWave)
- 機械学習＆画像処理(Dragonfly)
- Gatan DigitalMicrograph
- Python, DM-Script, MATLABやMathematicaベースの独自開発ソフトウェア類